微機電系統的應用

微機電系統的全名為micro-electro-mechanical system，簡稱MEMS，在歐洲則稱為微系統科技（micro-system-technology），簡稱MST。

微機電系統技術可用來製造低成本的感測器及致動器，目前應用微機電系統技術製作的產品有壓力計、生化感測器、加速計、噴墨印表機的噴頭，以及特殊的拋棄式的醫療用品等。本技術除了可應用在多方面之外，也關係到未來關鍵工業的發展，例如國防科技及生物科技等。

此外，微機械製造技術還可以生產直徑如頭髮大小的奈米分子馬達，奈米分子馬達並不需要電能，如以DNA分子馬達為例，它可以直接將生物體中的生物化學能轉換為機械動能。未來、分子馬達將可以進入人體中，直接修復生病的器官、清除血管中的阻塞物、消滅癌細胞、更換缺陷的基因等等。

微型機器人的發展是建立在大型積體電路的製造技術基礎上，其作業能力達到分子、原子的層次，可用於精密製造業的加工、農業、通信、醫療、航太等各領域。它能到達人類無法到達的任何地方，從事各種精密作業。