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1959
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美國科學家費曼（Richard Pillips Feynman，1918-1988）
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12月29日在美國加州舉行的美國物理學會（American Physical Society）年會上進行一個題目為「底部上有大量空間」（There，Plenty of Room at the Bottom）的演講時就曾提出：「物理極限是否會阻礙我們按照自己的意思任意移動原子（putting the atoms where you want）」也因此我們將費曼尊稱為奈米之父。
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1962
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日本物理學家久保亮五（R.Kubo）
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提出了著名的久保理論-----「量子侷限理論」（Quantum Confinement Theory），用以解釋金屬超微粒所呈現的能量不連續現象。此後，科學家開始瞭解到物質在小到超微結構（奈米尺寸下）之下，會表現出不同於常見狀態下所見的性質。
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1974
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日本科學大學教授谷口紀男（Norio Taniguchi）
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在日本學會等舉辦的一次國際生產工程技術會議上，在其論文「奈米技術的機組礎概念」（On the Basic Concept of Nanotechnology）率先使用「奈米技術」一詞來描述精密機械加工。以這個新名詞來強調一個新的精密技術和新的精度標準的時代趨勢。
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1981
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瑞士人羅瑞（Heinrich Rohrer）博士和德國人賓尼（Gerd Karl Binnig）博士
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國際商業機器公司（IBM）蘇黎世研究實驗室的工程司共同發明了掃描穿隧顯微鏡（Scanning Tunneling Microscope，STM）。使用人類首度得以在大氣常溫下觀察到原子，也為相關的測量及操控原子等技術奠定了基礎，可以是說奈米技術發明史上劃時代的一個里程碑。兩人因此項研究發明，與1934年發明電子顯微鏡（Electron microscope，EM）的德國人魯斯卡（E.Ruska）共同獲得1986年的諾貝爾物理學獎。
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1985
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英國蘇塞克斯大學的克羅托（Sir Harold W.Kroto）教授與美國萊斯大學的克爾和克摩利（Richard E.Smalley）教授
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合作進行研究，以氦氣體雷射做脈衝發出，噴射在石墨把上，使碳受熱化，並通過甲苯收集而製造出以C60、C70為主的富勒烯分子。 克羅托、克爾和史摩利因為富勒烯分子的發現，一起榮獲1996年諾貝爾化學獎。
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1985
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莫斯科國立大學物理物理教授康斯坦丁,利哈廖夫等人
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提出可以通過控制單電子進入或離開所謂「庫侖島」（Coulomb`island），這是單電子元件的基礎。
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1987
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荷蘭戴爾夫特理工大學的巴爾特、威斯和飛利浦研究所的亨克、豪特等人
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在研究電流流過現在被稱為「量子點接觸」（quantum dots contact）的奈米結構時，獲得了明顯的具有台階特徵的伏安特性，這是電導量子化有力證據。
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1988
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德國科學家格倫貝格(Grünberg)和法國科學家費爾(Albert Fert)
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發現奈米材料的「巨磁電阻效應」，奈米技術必將會引發一場全新的「微電子革命」。
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1990
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美國國際商業機械公司（IBM）的科學家伊格（Don M.Eigler）博士與史維哲（E.K.Schweizer）
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在液氦溫度（4K）下，利用掃描作用力顯微鏡（Scanning Force Microscope，SFM）探針，藉由電場吸附與去電場分離，成功地在鎳表面以35個氙原子排成”IBM”三個英文字母，每個字只有5奈米大。這是人類首次操縱原子書法（atomic calligraphy）歷史紀錄。
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1990
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美國貝爾實驗室
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貝爾實驗室推出驚世傑作：「一個只有跳蚤般大小但五臟俱全的奈米機器人」，而奈米技術將會引發一場全新的「工業革命」。
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